سي سي سبسٽريٽ

2 انچ 4H N-قسم

2 انچ (50.8mm)

350+/-25 ايم

بند محور 4.0˚ طرف <1120> ± 0.5˚

<1-100> ± 5°

پرائمري فليٽ کان 90.0˚ CW ± 5.0˚، Si Face Up

16 ± 2.0

8 ± 2.0

پيداوار جو درجو (P)

ريسرچ گريڊ (R)

ڊمي گريڊ (ڊي)

0.015~ 0.028 Ω·cm

< 0.1 Ω· سينٽ

< 0.1 Ω· سينٽ

≤ 1 مائڪروپائپس/cm²

≤ 1 0micropipes/cm²

≤ 30 مائڪرو پائپس / سينٽي²

سي منهن سي ايم پي را <0.5nm، سي منهن را <1 nm

N/A، قابل استعمال علائقو > 75%

<8 um

<10 ايم

<15 um

< ±8 um

< ± 10 ايم

<±15um

<15 um

<20 um

<25 um

ڪو به

مجموعي ڊگھائي ≤ 3 ملي ايم
ڪناري تي

مجموعي ڊگھائي ≤10mm،
اڪيلو
ڊگھائي ≤ 2mm

≤ 3 جاچ، مجموعي
ڊگھائي <1* قطر

≤ 5 جاچ، مجموعي
ڊگھائي <2* قطر

≤ 10 جاچ، مجموعي
ڊگھائي <5* قطر

وڌ ۾ وڌ 6 پليٽ،
<100 ايم

وڌ ۾ وڌ 12 پليٽون،
<300 ايم

N/A، قابل استعمال علائقو > 75%

ڪو به

مجموعي علائقو ≤ 5%

مجموعي علائقو ≤ 10٪

ڪو به